100nm超純水液體粒子計(jì)數(shù)器
什么是電子級(jí)超純水？
集成電路的生產(chǎn)，幾乎每道工序都需要超純水進(jìn)行清洗，工件與水直接接觸，而一方面芯片在加工過(guò)程中的微量玷污得到清洗，而另一方面純水中的微量雜質(zhì)又可能使芯片再污染，無(wú)疑對(duì)產(chǎn)品有著極大的影響。隨著集成電路程度的進(jìn)一步提高，對(duì)水中污染物要求亦將更為嚴(yán)格，從六十年代末期，美國(guó)五家公司提出的集成電路用純水的水質(zhì)指標(biāo)以來(lái)，集成電路每前進(jìn)一代，雜質(zhì)都要減少1/2-1/10。美國(guó)材料實(shí)驗(yàn)學(xué)會(huì)（ASTM）1983、1990年頒發(fā)的電子級(jí)水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)，已不能適應(yīng)超大規(guī)模集成電路迅速發(fā)展的需要。目前ASTM提出了新的、更為嚴(yán)格的水質(zhì)指標(biāo)。
PMT-2 100nm超純水液體粒子計(jì)數(shù)器，采用英國(guó)普洛帝核心技術(shù)創(chuàng)新型的第八代雙激光窄光顆粒檢測(cè)傳感器，雙精準(zhǔn)流量控制-精密計(jì)量柱塞泵和超精密流量電磁控制系統(tǒng)，可以對(duì)清洗劑、半導(dǎo)體、超純水、電子產(chǎn)品、平板玻璃、硅晶片等產(chǎn)品的在線或離線顆粒監(jiān)測(cè)和分析，目前是英國(guó)普洛帝分析測(cè)試集團(tuán)向水質(zhì)領(lǐng)域及微納米檢測(cè)領(lǐng)域的重要產(chǎn)品。
PMT-2 100nm超純水液體粒子計(jì)數(shù)器產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)：
應(yīng)用：創(chuàng)新性油水雙系型、多用途、多模塊條件；
技術(shù)：第八代雙激光窄光檢測(cè)技術(shù)應(yīng)用；
軟件：分析測(cè)試和校準(zhǔn)計(jì)量相分離消除干擾；
輸出：IPAD數(shù)據(jù)采集技術(shù)使用；
在線優(yōu)勢(shì)：清洗劑、半導(dǎo)體、超純水、電子產(chǎn)品、平板玻璃、硅晶片等產(chǎn)品的在線顆粒監(jiān)測(cè)和分析，都是PMT-2微納米監(jiān)測(cè)儀的經(jīng)典應(yīng)用場(chǎng)所，并為生產(chǎn)線上的重要組成部分。在線、實(shí)時(shí)、連續(xù)取樣、報(bào)警提示，能夠即時(shí)掌握顆粒污染診斷和趨勢(shì)。
離線優(yōu)勢(shì)：移動(dòng)測(cè)量和固定測(cè)量顆粒大小及多少雙模式，解決連續(xù)跟蹤監(jiān)測(cè)的生產(chǎn)過(guò)程難題，無(wú)論您是即時(shí)測(cè)量還是清潔跟蹤監(jiān)測(cè)，都會(huì)為您提供完善的測(cè)試方案，讓您的測(cè)試更加快捷。
PMT-2 100nm超純水液體粒子計(jì)數(shù)器應(yīng)用范圍：
可以對(duì)清洗劑、半導(dǎo)體、超純水、電子產(chǎn)品、平板玻璃、硅晶片、手機(jī)零部件、純水機(jī)、納米過(guò)濾、微米過(guò)濾等領(lǐng)域進(jìn)行固體顆粒污染度檢測(cè)，及對(duì)有機(jī)液體、聚合物溶液進(jìn)行不溶性微粒的檢測(cè)。
PMT-2 100nm超純水液體粒子計(jì)數(shù)器技術(shù)參數(shù)：
訂制要求：各類液體檢測(cè)要求；
傳感器：第八代雙激光窄光檢測(cè)器；
測(cè)試軟件：V8.3分析測(cè)試軟件集成版&PC版；
測(cè)試標(biāo)定：JJG1061或乳膠球或ISO21501-2；
操作方式：彩色液晶觸摸屏操作&無(wú)線鍵鼠組合；
檢測(cè)范圍：0.1-0.5um、0.1-1.0um、0.05-0.2um；
特殊檢測(cè)：自定義1~100μm或者4~70μm（c）微粒，0.1μm或者0.1μm（c）任意檢測(cè)；
取樣方式：精準(zhǔn)計(jì)量泵；
進(jìn)樣精度：<±1%
精確度：<±5%典型值；
重合精度：10000粒/mL（5%重合誤差）；
模擬輸出：4mA～20mA接口；并帶超標(biāo)報(bào)警功能（可定制）；
報(bào)告方法：顆粒數(shù)/ml及污染度等級(jí)；
輸入電壓：100V～265V,50Hz～60Hz；
售后服務(wù)：普洛帝服務(wù)中心/中特計(jì)量檢測(cè)研究院。
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